真空測(cè)量的特性及真空計(jì)的采用標(biāo)準(zhǔn)?

? 真空測(cè)量技術(shù)性具備以下特性:? (1)測(cè)量范疇寬。真空技術(shù)性的發(fā)展趨勢(shì)已可得到 1.1×105Pa直到10-14Pa,寬達(dá)19個(gè)量級(jí)? 的壓力范疇。因而不太可能借助一種測(cè)量基本原理和一種真空計(jì)來完成全部范疇的真空度測(cè)量。不一樣? 類型的真空計(jì)相匹配分別不一樣的壓力測(cè)量范疇,既有不一樣的測(cè)量范圍。? (2)多見間接性測(cè)量。除開壓力較高的真空地區(qū)(105~10Pa),選用壓力的立即測(cè)量外,大? 一部分底壓室內(nèi)空間氣體的測(cè)量全是運(yùn)用底壓下氣體的一些特點(diǎn)(如導(dǎo)熱、水解等)開展間接性的真? 空度測(cè)量,因而對(duì)相對(duì)性真空計(jì)的校正工作中就看起來至關(guān)重要? (3)一般選用電測(cè)技術(shù)性。因?yàn)殚g接性測(cè)量的真空計(jì)大多數(shù)選用非用電量電測(cè)技術(shù)性,因而測(cè)量反映? 快速,敏感度高,為完成自動(dòng)化技術(shù)發(fā)揮特長(zhǎng)? (4)測(cè)量值與氣體類型相關(guān)。絕大多數(shù)真空計(jì)的讀值與被測(cè)氣體的類型和有關(guān)成份相關(guān),因而測(cè)量時(shí)要留意被測(cè)氣體的類型和成份,以防止導(dǎo)致出現(xiàn)偏差的原因? (5)測(cè)量精度不高。在間接性測(cè)量壓力的全過程中,通常必須引入另加動(dòng)能(如能源、電磁能? 機(jī)械動(dòng)能、放射性能這些)。因?yàn)檫@種另加動(dòng)能的引入將難以避免造成測(cè)量出現(xiàn)偏差的原因,而較稀氣體能夠? 造成的測(cè)量數(shù)據(jù)信號(hào)自身很很弱。這就決策了真空計(jì)的測(cè)量精度遠(yuǎn)比別的的物理學(xué)儀器設(shè)備的測(cè)量精度? 低。因而把真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)儀表盤和規(guī)范儀表盤的不精確度列入(2~10)×10-2,工作中儀表盤的測(cè)量誤? 差操縱在±20×10-2之內(nèi)是較為準(zhǔn)確的? 采用真空計(jì)時(shí)要考慮到以下一些標(biāo)準(zhǔn)? (1)常用機(jī)器設(shè)備規(guī)定的壓力范疇內(nèi),采用的真空計(jì)是不是有充足的測(cè)量精度,總體特性怎樣;? (2)被測(cè)氣體可否對(duì)真空計(jì)導(dǎo)致?lián)p害;? (3)選定真空計(jì)對(duì)被測(cè)的汽態(tài)室內(nèi)空間可否導(dǎo)致危害;? (4)真空計(jì)測(cè)定的壓力值是全壓力,還是分壓力,是不是已校正,儀器設(shè)備的敏感度是不是與被測(cè)? 的氣體類型相關(guān)? (5)選定真空計(jì)可否完成持續(xù)測(cè)量,電氣設(shè)備標(biāo)示及其反應(yīng)速度怎樣?? 6)儀器設(shè)備的可靠性、可信性、使用期怎樣?
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