?? 得出的是一個(gè)在真空泵器皿和分子泵中間設(shè)立閘閥、冷阱的極高真空泵系? 統(tǒng),其粗抽管路和前級(jí)管路與圖5-21所顯示擴(kuò)散泵抽真空系統(tǒng)軟件同樣。分子泵配備的前? 級(jí)泵和擴(kuò)散泵不一樣。擴(kuò)散泵的一切正常運(yùn)行規(guī)定前級(jí)泵具備充足大的抽速,在較大 排氣管? 量時(shí)保證 擴(kuò)散泵前級(jí)壓力小于擴(kuò)散泵臨界值前級(jí)壓力。渦輪分子泵則規(guī)定挑選具備足? 夠抽真空總流量的前級(jí)泵,使挨近前級(jí)管路的葉子在較大 排量時(shí)處在分子結(jié)構(gòu)流或正益處? 于過渡流。大部分分子泵的較大 恒定進(jìn)風(fēng)口壓力p人約為0.5~1Pa,較大 前級(jí)壓? 力前約為30Pa,因此 分子泵在較大 排量時(shí)的發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比(p前/p)或前級(jí)泵的抽? 速與分子泵抽速之比(S前/S分)在60~30中間。針對(duì)規(guī)定前級(jí)管路氫分壓電路尤其小? 的系統(tǒng)軟件,配備的抽速比應(yīng)是20:1。? 渦輪分子泵歸屬于較清理的機(jī)械泵(又被稱為半無汽油泵),它對(duì)植物油脂一類生物大分子的壓? 縮較為高,不用液態(tài)氮冷阱阻攔軸承潤滑油或真空泵泵液的反流。圖5-22中裝在? 真空室和分子泵中間的液態(tài)氮阱的適用范圍是提升 對(duì)系統(tǒng)水蒸汽的抽速,那樣能夠縮

短烤制去氣時(shí)間、粗抽管路不用配備冷阱,粗抽時(shí)選用10-1050Pn的轉(zhuǎn)換壓
力,就能合理避免 機(jī)械設(shè)備油閥根據(jù)粗抽管路轉(zhuǎn)移到真空室中去。中小型渦輪分子泵抽氣機(jī)組能夠撤消粗抽管路,另外起動(dòng)渦輪分子泵和真空泵,根據(jù)渦輪分子泵對(duì)真空室開展粗抽。必須尤其強(qiáng)調(diào)的是所配備的真空泵的抽速理應(yīng)能在渦輪分子泵做到較大 轉(zhuǎn)速比之前把真空室抽中銜接壓力,不然,分子泵的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的過電流保護(hù)電源電路便會(huì)把渦輪分子泵關(guān)閉。選裝的真空泵應(yīng)該是在渦輪分子泵做到其額定值轉(zhuǎn)速比75%上下時(shí)就可以把真空室抽中20~200Pa,在這里壓力下,能避免 機(jī)械設(shè)備油閥的反流。大部分渦輪分子泵做到額定值轉(zhuǎn)速比的開機(jī)時(shí)間為5~10min,可依據(jù)分子泵的開機(jī)時(shí)間和真空泵的容? 積(包含管路和分子泵)測(cè)算配備真空泵合理抽速的尺寸
渦輪分于泵對(duì)氫的發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比和前極氫分壓電路是危害極限壓力的關(guān)鍵緣故之一。真空泵維修減少? 前級(jí)氫分壓電路,可以提升 渦輪分子泵的極限壓力。高發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比的渦輪分子泵,用二級(jí)旋? 片真空泵作前級(jí),極限壓力約為5×10-9Pa,用擴(kuò)散泵作前級(jí)時(shí),可提升 到1? 10-Pa,在真空室與分子泵中間提升一個(gè)鈦吸咐阱或液態(tài)氮碳分子篩吸咐阱,其極限? 壓力可小于10-9Pa
用以抽除大流量的渦輪分子泵抽真空系統(tǒng)軟件,如正離子刻蝕機(jī)等必須放進(jìn)的很多加工工藝? 用汽體,當(dāng)進(jìn)口壓力過高時(shí),氣旋的摩阻會(huì)使分子泵的轉(zhuǎn)速比減緩,因此對(duì)氫的? 壓比會(huì)快速減少。圖5-23所顯示為 Hanlon得出的一臺(tái)35m3/h前級(jí)泵的巴爾采斯生? 產(chǎn)的抽速400L/s分子泵通道壓力與抽速關(guān)聯(lián)的試驗(yàn)曲線圖。通道壓力擴(kuò)大到0.9Pa? 時(shí),曲線圖出現(xiàn)轉(zhuǎn)折點(diǎn),選用很大的前級(jí)泵,曲線圖A將往右邊挪動(dòng)(抽速豎直段擴(kuò)寬),? 相反將往左邊挪動(dòng)。防止抽速降低的方式是在泵入口設(shè)定過流保護(hù)閥,依據(jù)抽真空總流量不? 變基本原理,讓真空室保持必須的加工工藝壓力的另外,使渦輪分子泵仍處在飛速運(yùn)行的抽? 速豎直段的底壓情況

?

?